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          國(guó)內(nèi)外硅片拋光液的種類(lèi)磨料及現(xiàn)狀情況
          發(fā)布時(shí)間:2009/7/31 9:15:00     來(lái)源:中國(guó)機(jī)床商務(wù)網(wǎng)     發(fā)布者:manni123

              拋光液,以其優(yōu)越性能、可靠品質(zhì),贏得了廣大用戶信賴,使用戶獲得最合理拋光工藝、最優(yōu)拋光質(zhì)量最佳效率。產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于汽車(chē)、摩托車(chē)、航空、發(fā)動(dòng)機(jī)、壓縮機(jī)、內(nèi)燃機(jī)、紡織機(jī)械、鋁型材、鋅鋁鑄件、非鐵金屬鑄件、不銹鋼精密鑄件本產(chǎn)品能提高磨削效率,減少磨具磨損。對(duì)工件有保護(hù)及潤(rùn)滑作用,提高工件表面光潔度光亮度。根據(jù)各種材質(zhì)工件滾拋需要,研制成不同磨液,供用戶自行選擇。
            1965年美國(guó)孟山都公司世界上首先提出了二氧化硅溶膠凝膠應(yīng)用于硅晶圓片拋光加工專(zhuān)利。從此,半導(dǎo)體用拋光液(slurry)成為了半導(dǎo)體制造重要、必不缺少輔助材料。半導(dǎo)體硅片拋光工藝銜接材料與器件制備邊沿工藝,它極大地影響著材料器件成品率,并肩負(fù)消除前加工表面損傷沾污以及控制誘生二次缺陷雜質(zhì)雙重任務(wù)。特定拋光設(shè)備條件下,硅片拋光效果取決于拋光劑及其拋光工藝技術(shù)。隨著集成電路集成度不斷提高,相應(yīng)要求亦有所提高,不但直徑要增大,技術(shù)要求也相應(yīng)地提高,并不斷有新要求出現(xiàn)。
            采用SiO2拋光液進(jìn)行硅片拋光加工,目前多采用化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)技術(shù)。拋光工藝有粗拋光精拋光之分,故有粗拋光液精拋光液品種之分。預(yù)計(jì)2005年-2010年期間,我國(guó)半導(dǎo)體拋光片業(yè)內(nèi)整體需求拋光液量,每年會(huì)以平均增長(zhǎng)率為25%比率增長(zhǎng)。2004年間使用SiO2拋光液總共約157噸。其粗拋液有約126噸,精拋液有約31.5噸。
            目前我國(guó)半導(dǎo)體硅拋光片加工,所使用拋光液絕大多數(shù)都靠進(jìn)口。國(guó)外半導(dǎo)體硅拋光液市場(chǎng)占有率較高生產(chǎn)廠家,主要有美國(guó)Rodel&OndenNalco、美國(guó)DUPONT公司、日本FUJIMI公司等。盡管我國(guó)目前拋光液行業(yè)現(xiàn)已發(fā)展到有幾十家企業(yè),但真正涉足到半導(dǎo)體硅片拋光液制造、研發(fā)方面企業(yè)很少。無(wú)論產(chǎn)品質(zhì)量上、還市場(chǎng)占有率方面,國(guó)內(nèi)企業(yè)都表現(xiàn)出與國(guó)外廠家具有相當(dāng)差距。
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